扫描电子显微镜（Scanning Electron Microscope，简称SEM）是一种能否增大物质细节的新型显微镜。 扫描电子显微镜原理可以简单地理解为：对样本表面进行扫描，在感知到信号后，再将信号转换为图像。电子源，扫描线圈和检测器是扫描电子显微镜的三个主要部分。电子源产生电子束，如同光学显微镜接通电源通过调整电压、电流控制束的大小和亮度，这样可以根据实际情况调整束的大小和强度。电子束由电磁场加速到样品表面，通过扫描电磁线圈扫描样品表面，当电子束与样品相互作用并回散时，检测器通过感应电流把这些信息转换为图像。这一过程产生的图像大大增强了细节和分辨率，并提高了观察物质的能力。扫描电子显微镜，利用高能电子区别于光学显微镜的高分辨率、更强的放大倍率、扫描成像的特点，已经成为现代科研的基础设施之一，推动了材料科学、纳米技术、生物医学等领域的快速发展。
详解扫描电子显微镜原理
来源：寒伦知识网
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